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探針的主要作用及不同領(lǐng)域的應(yīng)用解析

更新時間:2022-07-06  |  訪問量:2391
   探針可以將質(zhì)譜測定技術(shù)與離子發(fā)射顯微鏡技術(shù)相結(jié)合作為現(xiàn)代儀器分析方法。能提供一般質(zhì)譜分析所不能提供的試樣微區(qū)質(zhì)譜。由于它能對固體物質(zhì)作微區(qū)、微量及深度成分分析,在某些條件下檢測靈敏度可達(dá)ppb數(shù)量級,因此被廣泛用于半導(dǎo)體、冶金、地質(zhì)和生物研究等部門。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面,濺射出表征試樣成分的二次離子束,通過磁場完成質(zhì)荷比分離,根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比和強(qiáng)度來進(jìn)行定性和定量分析。
  探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域有以下幾大常見的:
  1.半導(dǎo)體材料
 ?、俦砻?、界面和體材料的雜質(zhì)分析;
  ②離子注入濃度及摻雜的測定;
 ?、墼趯嵭Х治龇矫娴膽?yīng)用。
  2.金屬材料
 ?、贉y定各種鋼材和合金表面的鈍化膜、滲氮層、氧化墨中的成分;
 ?、跍y定各種金屬之間的相互擴(kuò)散、滲透,了解其性質(zhì);
  ③測定鋼和金屬的析出相、夾雜物、碳化物的成分、稀土元素以及硼、磷等在鋼材晶界上的偏析;
  ④測定注入到金屬表層中的摻雜元素的深度分布;
 ?、轀y定金屬表面的沾污和沾物的成分。
  3.地質(zhì)礦物
 ?、贉y定隕石中微量元素含量及其分布,以及同位素的豐度比;
 ?、跍y定月球上的稀土元素、堿土元素并與地球上的元素進(jìn)行對比;
 ?、蹨y定長石中的氧、氟化鋰中的氟,云母中的鉀的擴(kuò)散;
  ④測定礦物表面的氧化層的成分,找出佳的選礦工藝。
  4.生物樣品
 ?、贉y定牙齒和軟骨組織中的微量元素的含量和鋰的同位素豐度比;
 ?、谘芯垦例X中的氟含量與齲齒的關(guān)系;
  ③分析葉子中鈣、鉀、硼、鈉、鎂、錳等常見元素的含量,以便研究元素含量的影響。
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